导轨Guide
台湾上银直线导轨或日本THK直线导轨
X/Y/Z轴传动
台湾上银或日本THK研磨级滚珠丝杠
型号Model
VMM3020
镜头
香港普密斯6..5:1自动变倍镜头
测量重复性
2UM
光栅尺Scale
德国海德汉绝对精度光栅尺,分辨率0.1µm
轮廓光
LED冷光源,256级亮度可调
行程(mm)Range
300×200×150
工作温度
<0.002g,<15Hz
放大倍 Magnifi
光学放大倍率:0.7~4.5X,影像放大倍率:21~200X
精度解析度
0.1µm
机械结构 Struct
三轴花岗岩主体结构,物理性能稳定
振动Vibration
100mm/s
测量精度
XY轴 (1.8+L/200)µm
品牌
名卓仪器




