产地
苏州
驱动器行程
100mm~220mm
可检测最小内孔
10mm
重量Wt(kg)
180
驱动器采集间隔
0.05μm~2μm
驱动器粗糙度残值
≤0.005-0.025μm
传感器产地
美国
Z1轮廓度量程
20mm
直线度
0.5μm/100mm
外形尺寸
Lx Ly Lz 698 1640 1378mm
截止波长
0.025、8mm
Z1轴粗糙度线性精度
1&≤3nm
线性精度
≤±5%
是否支持加工定制
是
角度
±1′