名卓仪器 满足不同客户需求 粗造度分析 接触式 电感式轮廓仪

Z1轴轮廓线性精度

≤±(12nm3％)

Z1轴粗糙度线性精度

1&≤3nm

驱动器采集间隔

0.05μm~2μm

驱动器粗糙度残值

≤0.005-0.025μm

截止波长

0.025、8mm

用途范围

粗糙度,波纹度,轮廓度分析

评定长度

λcX1、2、3、4、5

角度

±1′

重量Wt(kg)

180

型号

SPMI200D

圆弧

±（1.3+R/12）μm

X方向驱动器

120mm

Z1轴标准测杆量程

≤0.07％F.s

可售卖地

全国

产地

苏州